DIY半导体制造，开源旋涂机Maasi

eric2013

https://github.com/klotzsch-lab/Maasi

旋涂机（Spin Coater）是半导体制造和微电子加工中的一种关键设备，主要用于在硅片或其他基板上均匀涂覆光刻胶或其他薄膜材料。旋涂工艺是芯片制造过程中光刻步骤的重要组成部分，其质量直接影响到后续图案转移的精度和芯片的性能

Maasi是一款经济实惠的旋涂机，它易于构建，并具备所有关键功能特性，适用于高达8000 RPM的广泛应用场景。我们的设计成本约为85欧元，组装时间仅需2小时。设计过程中遵循的原则之一是仅使用3D打印部件和价格合理的商用现成（COTS）组件。为了减少部件数量，我们采用了带有遥测功能的电子速度控制器（ESC），从而省去了转子传感器的需求。